发明名称 Herstellungsverfahren für selbstausgerichtete lokale interne Verbindungen und Kontakte
摘要
申请公布号 DE19814869(A1) 申请公布日期 1999.07.01
申请号 DE1998114869 申请日期 1998.04.02
申请人 UNITED MICROELECTRONICS CORP., HSIN-CHU, TW 发明人 SUN, SHIH-WEI, TAIPEH/T'AI-PEI, TW
分类号 H01L21/28;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/822;H01L23/522;H01L27/04;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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