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经营范围
发明名称
Herstellungsverfahren für selbstausgerichtete lokale interne Verbindungen und Kontakte
摘要
申请公布号
DE19814869(A1)
申请公布日期
1999.07.01
申请号
DE1998114869
申请日期
1998.04.02
申请人
UNITED MICROELECTRONICS CORP., HSIN-CHU, TW
发明人
SUN, SHIH-WEI, TAIPEH/T'AI-PEI, TW
分类号
H01L21/28;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/822;H01L23/522;H01L27/04;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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