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发明名称 MICROMECHANICAL DEVICE
摘要
申请公布号 EP0925639(A1) 申请公布日期 1999.06.30
申请号 EP19980941313 申请日期 1998.07.10
申请人 DLR DEUTSCHES ZENTRUM FUER LUFT- UND RAUMFAHRT E.V. 发明人 BAEHNISCH, RALF;BISSINGER, NORBERT
分类号 G01C19/56;H02N1/00;(IPC1-7):H02N1/00;H01L41/04 主分类号 G01C19/56
代理机构 代理人
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