| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR TREATING GAS BY IRRADIATION OF ELECTRON BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0925105(A1) |
申请公布日期 |
1999.06.30 |
| 申请号 |
EP19970933004 |
申请日期 |
1997.07.24 |
| 申请人 |
EBARA CORPORATION |
发明人 |
IZUTSU, MASAHIRO;IIZUKA, YOSHITAKA;HAYASHI, KAZUAKI |
| 分类号 |
B01D53/50;B01D53/00;B01D53/52;B01D53/56;B01D53/60;B01D53/77;B01J19/08;B01J19/12;C01B17/04;(IPC1-7):B01D53/00 |
主分类号 |
B01D53/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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