测量具有显微成象光路的光学仪器曝光时间的方法和装置

摘要

根据本发明方法，一配置在测量光路（Ｍ）上的具有多个分立测量光阑（２，３）的测量光阑板（４）以及一配置在入射光路（Ｅ）上位于标线板（７）附近的具有多个分立遮蔽图形（１２，１３）的遮蔽板（１１）同步运行，因而在测量光路（Ｍ）上的测量光阑（２或３）经入射光路（Ｅ）借助配属的遮蔽图形（１２或１３）和具有测量光阑（２，３）轮廓的标线板（７），同时在观察光路（Ｂ）上的目镜中间象面（１９）上显示出。

主权项

1．用于测量光学仪器的曝光时间的方法，该光学仪器具有一显微镜成象光路、一观察光路、一测量光路、一入射光路和一个棱镜系统(P)，其特征在于：一个配置在测量光路(M)上的含有多个分立测量光阑(2,3)的测量光阑板(4)和一个配置在入射光路(E)上位于标线板(7)附近的含有多个分立遮蔽图形(12,13)的遮蔽板(11)，测量光阑板(4)被电机(6)和旋转轴(5)可移动地支撑，遮蔽板(11)被电机(15)和旋转轴(14)可移动地支撑，测量光阑板(4)和遮蔽板(11)可同步旋转，通过棱镜系统(P)的多个透射、反射作用，位于测量光路(M)上的测量光阑(2)或(3)经入射光路(E)借助所属的遮蔽图形(12或13)和具有测量光阑(2,3)的轮廓或轮廓部分被反向投射到标线板(7)上，同时显示在观察光路(B)上的目镜中间象面(19)上。