发明名称 Disk substrate
摘要 PCT No. PCT/US95/04325 Sec. 371 Date Oct. 16, 1996 Sec. 102(e) Date Oct. 16, 1996 PCT Filed Apr. 18, 1995 PCT Pub. No. WO95/28703 PCT Pub. Date Oct. 26, 1995The present invention relates to a highly smooth zirconia-containing disk substrate produced by polishing a defect-free surface with fine diamond and/or alumina.
申请公布号 US5916655(A) 申请公布日期 1999.06.29
申请号 US19960722183 申请日期 1996.10.16
申请人 SAINT-GOBAIN/NORTON INDUSTRIAL CERAMICS CORPORATION 发明人 KWON, OH-HUN
分类号 G11B5/73;G11B5/84;G11B23/00;G11B25/04;(IPC1-7):B32B3/00;G11B5/82 主分类号 G11B5/73
代理机构 代理人
主权项
地址