发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11168173(A) 申请公布日期 1999.06.22
申请号 JP19970333813 申请日期 1997.12.04
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 SHIMATANI TAKESHI
分类号 H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
地址