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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE AND PROCESSING METHOD USING PARABOLIC ANTENNA
摘要
申请公布号 JPH11167998(A) 申请公布日期 1999.06.22
申请号 JP19970334566 申请日期 1997.12.04
申请人 CANON INC 发明人 SUZUKI NOBUMASA
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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