| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR WASHING AND DRYING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11162923(A) |
申请公布日期 |
1999.06.18 |
| 申请号 |
JP19970332188 |
申请日期 |
1997.12.02 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
ISHIKAWA HIROAKI;KOTO SATORU;TANAKA HIROSHI;FUJINO NAOHIKO |
| 分类号 |
B08B3/04;F26B3/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B3/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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