| 发明名称 |
HEIGHT MEASURING APPARATUS OF SPHERICAL OBJECT AND ITS MEASURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11160027(A) |
申请公布日期 |
1999.06.18 |
| 申请号 |
JP19970322917 |
申请日期 |
1997.11.25 |
| 申请人 |
TODAKA SEISAKUSHO:KK |
发明人 |
KANDA DAIZO;MORITA KAZUMI |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/02;H01L21/60;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/02 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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