发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11163164(A) 申请公布日期 1999.06.18
申请号 JP19980273156 申请日期 1998.09.28
申请人 LG SEMICON CO LTD 发明人 ZE KYON AN
分类号 H01L21/8238;H01L21/265;H01L27/04;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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