| 发明名称 |
NONCONTACT METHOD FOR MEASURING THREE-DIMENSIONAL MICRO STRUCTURE USING OPTICAL WINDOW |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11160034(A) |
申请公布日期 |
1999.06.18 |
| 申请号 |
JP19970309462 |
申请日期 |
1997.10.27 |
| 申请人 |
HII JE BAKU;SUON UKU CHO |
发明人 |
HII JE BAKU;SUON UKU CHO;WU ZWON AN |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/00;G06T1/00;G06T7/00;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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