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发明名称 Verfahren zur Herstellung und Polierung eines flaches Diamantfilmes
摘要
申请公布号 DE69509564(D1) 申请公布日期 1999.06.17
申请号 DE19956009564 申请日期 1995.01.25
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 IKEGAYA, AKIHIKO, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOM, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;TANABE, KEIICHIRO, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;FUJIMORI, NAOJI, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI, HYOGO, JP
分类号 C30B29/04;B24B9/16;C23C16/01;C23C16/26;C23C16/27;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/26 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
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