发明名称 PROCESS FOR THE PURIFICATION OF FLUORINE-CONTAINING GASES
摘要
申请公布号 KR100203021(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19920002981 申请日期 1992.02.26
申请人 SAES GETTERS S.P.A 发明人 SUCCI, MARCO;SOLCIA, CAROLINA
分类号 B01D53/02;B01D53/04;C01B7/19;C01B17/45;C01B21/083;C07B61/00;C07C17/38;C07C19/08;(IPC1-7):B01D53/00 主分类号 B01D53/02
代理机构 代理人
主权项
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