发明名称 |
PROCESS FOR THE PURIFICATION OF FLUORINE-CONTAINING GASES |
摘要 |
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申请公布号 |
KR100203021(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.15 |
申请号 |
KR19920002981 |
申请日期 |
1992.02.26 |
申请人 |
SAES GETTERS S.P.A |
发明人 |
SUCCI, MARCO;SOLCIA, CAROLINA |
分类号 |
B01D53/02;B01D53/04;C01B7/19;C01B17/45;C01B21/083;C07B61/00;C07C17/38;C07C19/08;(IPC1-7):B01D53/00 |
主分类号 |
B01D53/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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