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发明名称 NEGATIVE TYPE PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 KR100198722(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960011850 申请日期 1996.04.19
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO.,LTD. 发明人 SATO, MITSURU;OOMORI, KATSUMI;ISHIKAWA, KIYOSHI;IKUZI, ETSUKO;KANEKO, HUMITAKE
分类号 G03F7/004;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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