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发明名称 WAFER CONVEYOR APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING INCLINATION OF WAFER CASSETTE
摘要
申请公布号 KR100198145(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19920006612 申请日期 1992.04.20
申请人 TOKYO ELECTRON KYUSHU LIMITE;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 TADEYAMA, KIYOHISA;SAKAMOTO, YASUHIRO
分类号 G01B11/26;G01B21/22;G01V8/12;H01L21/00;H01L21/67;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 G01B11/26
代理机构 代理人
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