| 发明名称 |
SILICON SINGLE CRYSTAL PULLER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11157993(A) |
申请公布日期 |
1999.06.15 |
| 申请号 |
JP19980161887 |
申请日期 |
1998.06.10 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS SILICON CORP |
发明人 |
FURUKAWA JUN;YASUI TAKEMOTO;ONO NAOKI |
| 分类号 |
C30B15/00;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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