发明名称 TRENCH ISOLATION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100192472(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19910005956 申请日期 1991.04.13
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 LEE, NAM-KYU
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址