| 发明名称 |
DEVICE FOR PROTECTING BASE MARK OF EXPOSURE APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR100197885(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.15 |
| 申请号 |
KR19960070675 |
申请日期 |
1996.12.23 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. |
发明人 |
PARK, SOON-JONG |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
