发明名称 A METHOD FOR FORMING SUPER LOW JUNCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100203131(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960023252 申请日期 1996.06.24
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO., LTD 发明人 LEE, KIL-HO;RYU, SANG-HO
分类号 H01L29/78;H01L21/22;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8234;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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