| 发明名称 |
APPARATUS FOR SUPPLYING CHEMICALS IN DEVELOPER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR200147598(Y1) |
申请公布日期 |
1999.06.15 |
| 申请号 |
KR19980008464U |
申请日期 |
1998.05.21 |
| 申请人 |
FAIRCHILD KOREA SEMICONDUCTOR LTD. |
发明人 |
PARK, DAE-YOONG |
| 分类号 |
G03D3/00;G03D3/06;(IPC1-7):G03D3/00 |
主分类号 |
G03D3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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