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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 KR200148629(Y1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960019630U 申请日期 1996.07.02
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 UI, SUNG-EUN
分类号 H01L21/285 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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