发明名称 METHOD OF FORMING AN ELEMENT ISOLATION FILM IN A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100203894(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19950048043 申请日期 1995.12.08
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO., LTD 发明人 CHANG, SAE-OK
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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