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发明名称 THIN-FILM FORMING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH11150073(A) 申请公布日期 1999.06.02
申请号 JP19970332409 申请日期 1997.11.16
申请人 ANELVA CORP 发明人 SAKAI SUMIO
分类号 C23C16/30;C23C16/04;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
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