VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERMIKROCHIPS,申请号DE1991630290T-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERMIKROCHIPS
摘要
申请公布号	DE69130290(T2)	申请公布日期	1999.06.02
申请号	DE1991630290T	申请日期	1991.07.16
申请人	RAYCHEM LTD., LONDON, GB	发明人	KEIBLE, EDWARD, ANTHONY, PALO ALTO, CA 94301, US;SMITH, NICHOLAS, JOHN, GREGG 11 NORTH MEADOW ROAD, WILTSHIRE SN6 6LT, GB
分类号	H01L21/60;H01L21/768;H01L23/532;(IPC1-7):H01L21/60	主分类号	H01L21/60
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