ROTIERENDE HALTERUNG ALS MASCHINENTEIL FÜR DIE BEARBEITUNG VON HALBLEITERPLÄTTCHEN, EINSETZBAR BEI DER CHEMISCHEN GASPHASENABSCHEIDUNG VON WOLFRAM
摘要
申请公布号
DE69323079(T2)
申请公布日期
1999.06.02
申请号
DE19936023079T
申请日期
1993.06.11
申请人
TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
FOSTER, ROBERT F., PHOENIX, AZ 85044, US;REBENNE, HELEN E., FAIR LAWN, NJ 07410, US;LEBLANC, RENE E., BRANFORD, CT 06405, US;WHITE, CARL L., GILBERT, AZ 85234, US;ARORA, RIKHIT, MESA, AZ 85210, US