发明名称 ROTIERENDE HALTERUNG ALS MASCHINENTEIL FÜR DIE BEARBEITUNG VON HALBLEITERPLÄTTCHEN, EINSETZBAR BEI DER CHEMISCHEN GASPHASENABSCHEIDUNG VON WOLFRAM
摘要
申请公布号 DE69323079(T2) 申请公布日期 1999.06.02
申请号 DE19936023079T 申请日期 1993.06.11
申请人 TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 FOSTER, ROBERT F., PHOENIX, AZ 85044, US;REBENNE, HELEN E., FAIR LAWN, NJ 07410, US;LEBLANC, RENE E., BRANFORD, CT 06405, US;WHITE, CARL L., GILBERT, AZ 85234, US;ARORA, RIKHIT, MESA, AZ 85210, US
分类号 C23C16/14;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/48;C23C16/54;H01L21/285;H01L21/683;(IPC1-7):C23C16/14 主分类号 C23C16/14
代理机构 代理人
主权项
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