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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH11150105(A)
申请公布日期
1999.06.02
申请号
JP19970332366
申请日期
1997.11.18
申请人
NEC CORP
发明人
KOOTANI SHUICHI
分类号
H05H1/46;C23C14/34;C23C16/46;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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