发明名称 |
HIGH DIELECTRIC CAPACITOR FABRICATION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
KR100189982(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.01 |
申请号 |
KR19950044902 |
申请日期 |
1995.11.29 |
申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. |
发明人 |
PARK, SUN-OH |
分类号 |
H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/92;(IPC1-7):H01L27/108 |
主分类号 |
H01L27/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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