发明名称 HIGH DIELECTRIC CAPACITOR FABRICATION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100189982(B1) 申请公布日期 1999.06.01
申请号 KR19950044902 申请日期 1995.11.29
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 PARK, SUN-OH
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/92;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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