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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING EXTERNAL APPEARANCE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11145229(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970320523 申请日期 1997.11.07
申请人 NEC CORP 发明人 MAEHARA KAZUAKI
分类号 G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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