发明名称 BLOCK HEATER
摘要
申请公布号 JPH11145166(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970312461 申请日期 1997.11.13
申请人 KYUSHU NISSHO:KK 发明人 TOKUMOTO MASAHISA
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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