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发明名称 FOCUSED ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11144670(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970303927 申请日期 1997.11.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 IWAMOTO HIROSHI;YOKOYAMA MICHIHISA
分类号 H01J37/22;H01J37/304;(IPC1-7):H01J37/304 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
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