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发明名称 STRUCTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH11145124(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19980249256 申请日期 1998.09.03
申请人 SIEMENS AG 发明人 ENGELHARDT MANFRED DR;WEINRICH VOLKER
分类号 C23F4/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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