| 发明名称 |
WAFER TEMPERATURE CONTROLLER AND WAFER STORAGE CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11145225(A) |
申请公布日期 |
1999.05.28 |
| 申请号 |
JP19970318920 |
申请日期 |
1997.11.05 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
NAKAGOME YOICHI;FURUYA KUNIHIRO |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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