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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE WITH OXIDIZING PROCESS AND MANUFACTURING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE WITH OXIDIZING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH11145128(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970313315 申请日期 1997.11.14
申请人 SONY CORP 发明人 KIMURA HIDEKI
分类号 H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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