| 发明名称 |
Electrostatically attracting electrode and a method of manufacture thereof |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG64947(A1) |
申请公布日期 |
1999.05.25 |
| 申请号 |
SG19960010736 |
申请日期 |
1996.09.19 |
| 申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
TAKAHASI KAZUE;KANAI SABURO;KANNO SEIICHIRO;ITOU YOUICHI |
| 分类号 |
H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/00;B25B11/00;H02N13/00;C23C14/50 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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