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发明名称 WASHING DEVICE FOR WASHING TOOL AND WASHING DEVICE FOR OBJECT TO BE PROCESSED
摘要
申请公布号 JPH11138436(A) 申请公布日期 1999.05.25
申请号 JP19970330993 申请日期 1997.11.13
申请人 EBARA CORP 发明人 MATSUDA NAOKI;ITO KENYA
分类号 B24B55/12;B08B3/04;H01L21/00;(IPC1-7):B24B55/12 主分类号 B24B55/12
代理机构 代理人
主权项
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