发明名称
摘要
申请公布号 JP2894090(B2) 申请公布日期 1999.05.24
申请号 JP19920165173 申请日期 1992.06.24
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 TAGISHI MITSUAKI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/04;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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