可改变照射角度之邻近曝光装置

摘要

本发明系提供一种可改变对于工件之光线照射角度之邻近曝光装置。本发明之解决手段系射出部１０ｂ为固定于基座２１上，光源部１０ａ系由轴承２６，２７所轴支。灯泡１所照射之光线系由椭圆聚光镜２所聚光，而经由光罩Ｍ照射于工件Ｗ。基座２１之两端部系卡合于圆孤状臂２２，２３之导件，藉转动基座２１而射出部１０ｂ就倾斜而可从斜向照射光线于工件Ｗ。光源部１０ａ系由轴承２６，２７所支持，即使倾斜基座２１也可将光源部１０ａ之灯泡固持为垂直状态。又，使用球形栓槽(ball spline)等将光源部１０ａ之移动方向限制为水平方向，由藉没有图示之光源部１０ａ移动，将光源部１０ａ固持为垂直之状态也可倾斜射出部１０ｂ。

主权项

1.一种邻近曝光装置,其系备有:射出包含紫外线光线之光线照射部,与固持光罩之光罩座,固持工件之工件座者,其特征为;装设使光线照射部倾斜之机构,使其从上述光线照射部之光线由斜向照射。2.一种邻近曝光装置,其系备有:射出包含紫外线光线之光线照射部,与固持光罩之光罩座,固持工件之工件座者,其特征为;备有固定上述光线照射部之倾斜台,与将倾斜台经由转动导引将其固持为可转动之底座,与对于上述倾斜台经由轴承接续为可回转,将从放电灯所照射之包含紫外光之光线供给于上述光线照射部之光源部,与将上述光源部之驱动方向限制成向水平方向之水平方向导引手段,与将光源部沿着上述水平方向导引手段向水平方向驱动之驱动手段,与固持上述水平方向导引手段之固持手段,与固持上述水平导引手段之固持手段,与将上述固持手段,经由直动导引手段支持成可向上下方向移动之支持手段,藉驱动上述驱动手段,仍将光源部固持为垂直之状态下,倾斜上述光线照射部,将来自该光线照射部之光线为对于工件从斜向照射。图式简单说明:第一图系表示本发明实施例之邻近曝光装置整体构成之图。第二图系本发明之实施例之光线照射部之外观图。第三图系本发明之实施例之光线照射部之分解图。第四图系表示本发明实施例之光线照射部倾斜状态之图。第五图系表示灯泡倾斜时之孤光状态之图。第六图系表示本发明之第2实施例之图。第七图系表示第2实施例之光线照射部成倾斜状态之图。第八图系表示先行技术之邻近曝光装置之概略构成之图。第九图系表示具有高低差部分之工件一例之图。第十图系用来说明曝光具有高低差部分之工件等时之光线照射方向之图。