石英管储存柜改良结构

摘要

一种半导体制程中、供磊晶生成之石英管储存柜结构改良，该储存柜主要系对石英管进行乾燥处理，并兼具储存用之储存柜者，其内部为中空储存空间，而于柜顶处设有过滤空气作用之空气洁净装置，以便控制储存柜内之空气洁净度，而于柜底设有供石英管放置之平台式座体，同时于储存体内侧纵壁附设有红外线反射镜及红外线灯管，当石英管置放于储存柜内后，藉由洁净之空气流通及红外线灯管之照射与红外线反射镜将其光源反射以达加速石英管乾燥之效果者，再者，为防止储存柜内之气体湿度上升，特加设一除湿装置抽取气体内之水份，不仅可取代人工以氮气向石英管吹气之乾燥方式，更可降低氮气之成本与乾燥处理之工时为主。

主权项

1.一种「石英管储存柜改良结构」,该储存柜系供石英管储放、乾燥之柜体,而其内部系为中空将,其柜顶设有空气洁净装置、柜底设置有供石英管放置之平台式座体,其特征为该储存柜内侧四周纵壁附设有红外线反射镜及红外线灯管,藉由洁净之空气流通及红外线灯管之照射与红外线反射镜将其光源反射以达加速石英管乾燥之效果者。2.根据专利请求第1项所述之「石英管储存柜改良结构」,其中,该该储存柜柜内可加设一除湿装置于其柜内抽取气体内之水份,俾达到降低成本、提高效率之石英管乾燥结构者。3.根据专利请求第2项所述之「石英管储存柜改良结构」,其中,该除湿装置可设于储存柜外部者。图式简单说明:第一图系传统之石英管储存柜侧视图。第二图系本创作之石英管储存柜侧视图。