| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT AND SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11135798(A) |
申请公布日期 |
1999.05.21 |
| 申请号 |
JP19970299252 |
申请日期 |
1997.10.31 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
FUJIWARA TAKASHI;KAWAMURA TETSUYA |
| 分类号 |
H01L29/43;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L29/43 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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