| 发明名称 |
VACUUM PROCESSING CHAMBER HAVING MULTI-MODE ACCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11135296(A) |
申请公布日期 |
1999.05.21 |
| 申请号 |
JP19980199207 |
申请日期 |
1998.07.14 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
RICE MICHAEL;SCHNEIDER GERHARD;ASKARINAM ERIC;COLLINS KENNETH S |
| 分类号 |
H05H1/28;B01J3/00;C23C14/00;C23C16/50;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/28;H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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