| 发明名称 |
SURFACE SHAPE RECOGNITION SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11132749(A) |
申请公布日期 |
1999.05.21 |
| 申请号 |
JP19970295680 |
申请日期 |
1997.10.28 |
| 申请人 |
TOKAI RIKA CO LTD |
发明人 |
ITOIGAWA KOICHI;IWATA HITOSHI |
| 分类号 |
H01L41/08;G01B11/30;G01B17/06;(IPC1-7):G01B11/30 |
主分类号 |
H01L41/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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