| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR WAFER SUITED FOR INSPECTION BY WAFER BATCH TYPE PROBE CARD, METHOD FOR INSPECTING A SEMICONDUCTOR DEVICE, AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11135580(A) |
申请公布日期 |
1999.05.21 |
| 申请号 |
JP19970298094 |
申请日期 |
1997.10.30 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
ARAKAWA TAKESHI;SASAKI TOMOYUKI |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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