发明名称 一种横向检测式陀螺
摘要 本发明是一种横向检测式陀螺,它是利用科立奥利力检测角速度的一种仪器。本发明立足于半导体的版图设计,在横向检测式微硅陀螺质量块上的四角处配置对称的八根梁,使得驱动与检测两方向的固有频率完全一致,以使得该陀螺的性能最佳。它是随着硅微机械加工技术的发展而发明的一种新型陀螺,可应用于汽车导航及汽车防滑自动控制等方面。
申请公布号 CN1216823A 申请公布日期 1999.05.19
申请号 CN98102810.1 申请日期 1998.07.06
申请人 北京大学 发明人 肖志雄;李志宏;郝一龙;武国英;王阳元
分类号 G01C19/42 主分类号 G01C19/42
代理机构 北京大学专利事务所 代理人 陈美章
主权项 1.一种横向检测式陀螺,它包含有质量块、质量块的驱动电极、反馈电极、驱动固定电极的定齿、固定在衬底上的固定物、连接于质量块与固定物之间并支撑质量块的梁,其特征是支撑质量块的梁是由质量块的四个直角引出8根对称性的梁所组成,
地址 100871北京市海淀区中关村北京大学