| 发明名称 |
TRAY-CARRYING TYPE FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11131232(A) |
申请公布日期 |
1999.05.18 |
| 申请号 |
JP19970315870 |
申请日期 |
1997.10.31 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
NAKAKAWARA HITOSHI;MORIWAKI TAKAYUKI |
| 分类号 |
B65G49/00;C23C14/00;C23C14/56;H01L21/02;H01L21/205;(IPC1-7):C23C14/56 |
主分类号 |
B65G49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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