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发明名称
SYSTEM ZUR ELEKTRONSTRAHLABSCHEIDUNG AUS DER GASPHASE
摘要
申请公布号
AT179221(T)
申请公布日期
1999.05.15
申请号
AT19960907039T
申请日期
1996.02.09
申请人
JET PROCESS CORPORATION
发明人
HALPERN, BRET
分类号
C23C14/22;C23C14/32;H01J37/305;(IPC1-7):C23C14/22;H01J37/00
主分类号
C23C14/22
代理机构
代理人
主权项
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