发明名称 Vertical, packed-bed, film evaporator for halide-free, silicon-containing compounds
摘要
申请公布号 AU705116(B2) 申请公布日期 1999.05.13
申请号 AU19960046438 申请日期 1995.12.19
申请人 CORNING INCORPORATED 发明人 MICHAEL B CAIN
分类号 G02B6/00;B01D3/34;C03B8/04;C03B19/14;C03B37/014;C03B37/018;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/448;(IPC1-7):C03B37/014 主分类号 G02B6/00
代理机构 代理人
主权项
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