| 发明名称 |
DEVICE FOR FORMING DEPOSITED COATING AND FORMATION OF DEPOSITED COATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11124678(A) |
申请公布日期 |
1999.05.11 |
| 申请号 |
JP19970307871 |
申请日期 |
1997.10.22 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
MURAYAMA HITOSHI;SHIRASAGO TOSHIYASU;OKAMURA TATSUJI;AKIYAMA KAZUYOSHI;HOSOI KAZUTO;TAKADA KAZUHIKO |
| 分类号 |
G03G5/08;C23C16/44;C23C16/50;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
G03G5/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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