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发明名称 METHOD OF PATTERNING LAMINATED WIRING
摘要
申请公布号 JPH11126777(A) 申请公布日期 1999.05.11
申请号 JP19970291876 申请日期 1997.10.24
申请人 NEC CORP 发明人 KOCHA YOKO
分类号 G02F1/1343;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/321;G02F1/134;H01L21/306 主分类号 G02F1/1343
代理机构 代理人
主权项
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