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经营范围
发明名称
CHEMICAL CIRCULATION TYPE SUBSTRATE PROCESSOR
摘要
申请公布号
JPH11125399(A)
申请公布日期
1999.05.11
申请号
JP19970309714
申请日期
1997.10.23
申请人
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD
发明人
NAGARA SHUJI
分类号
F17D1/08;H01L21/304;(IPC1-7):F17D1/08
主分类号
F17D1/08
代理机构
代理人
主权项
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