CHARGED PARTICLE BEAM IRRADIATION DEVICE,申请号JP19970290839-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	CHARGED PARTICLE BEAM IRRADIATION DEVICE
摘要
申请公布号	JPH11126572(A)	申请公布日期	1999.05.11
申请号	JP19970290839	申请日期	1997.10.23
申请人	HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD	发明人	MORITA KAZUHIRO;YODA HARUO;TOMIYOSHI CHIKAO;MIZUNO ICHII
分类号	H01J37/147;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/147	主分类号	H01J37/147
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